走査型プローブ顕微鏡（SPM）

観察する試料の表面上を探針（プローブ）で，テレビの走査線のようになぞることで凹凸などを画像化する顕微鏡一般を指す．原子間力顕微鏡（AFM）は，探針を試料の間で常に一定の距離になるように走査することで（距離を一定にするために原子間力を用いる），その探針の上下を検出して試料表面の原子レベルの立体構造を等高線などにより画像化する．また，走査型トンネル顕微鏡（STM）は，探針と導電性試料との間に流れるトンネル電流から，探針の上下を検出して立体構造の画像化を行う．