フォトファブリケーション

LSIなどの集積回路作製工程に用いられる写真製版技術をもとにした超高精度加工技術の総称．成膜，フォトリソグラフィー，エッチングなどを組合せ，サブミクロン単位の構造を作製することが可能である．

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バイオキーワード集：索引

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バイオキーワード集 新着 （2018/03/06更新）

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