微細加工技術(MEMS).半導体の電子回路をつくる技術を応用した,微細な機械部品,センサーやアクチュエーターをつくり出す技術.分析化学や生化学へも応用され,微小な反応容器やカラム,観察場などを提供できるマイクロ流体デバイス(マイクロチップ)へと発展している.