半導体製作で発展してきた微細加工技術(MEMS技術)をバイオへと応用した分野.微小流路や微小反応容器を作成するマイクロ流体デバイスや,さまざまな反応を1つの微小チップの上で行うLab on a Chipなどがある.特に定量的な摂動や1細胞/1分子測定で重要な役割を果たす技術となりつつある.