スパッタエッチング

イオンビームを試料表面に照射すると，試料表面の原子がはじき出され，試料から物質を除去することができる．この現象を利用して試料表面をエッチング（食刻）することをスパッタエッチングという．

参考書籍

• バイオテクノロジージャーナル 2005年3-4月号 Vol.5 No.2 特集「生きた細胞を自在に操るテクノロジーレーザー技術が拓くナノバイオの新しい世界」