半導体ウェーハ

ダイオードやトランジスタなどの半導体素子が数センチ角の中に数百,数千万個から構成されている集積回路(IC)は現代社会の数々の電気製品に使われている.ウェーハとは,半導体デバイスの回路をその中に作りこむための基板を示す.

バイオテクノロジージャーナル 2005年3-4月号 Vol.5 No.2

参考書籍

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