SIMS(二次イオン質量分析法).サンプルに金属やフラーレンやクラスターイオン(一次イオン)のビームを照射することによりサンプル中の成分をイオン化する方法.このときのイオンビームの照射範囲が1μm~と狭いため,空間分解能の高い分析が可能である.イオン化は真空下で行う.