STEM（走査透過型電子顕微鏡）

収束電子ビームをスキャンして結像するため，TEMよりも厚い試料の観察が可能．観察できる試料厚は加速電圧300 kVのTEMで～300 nm程度であるが，同じ300 kVのSTEMでは厚さ５～６μmに達する．なおμmレベルの切片厚は，超高圧TEMでなければ観察できなかった．

参考書籍

• Vol. No. 特集「」