傾斜可能な試料ステージをもったTEMまたはSTEMを用いて,試料切片を1~5度ごとに-70度~+70度程度まで傾斜して画像を取得し,その傾斜像シリーズから切片の三次元構造を再構成することで,試料の断層面や内部の三次元構造を明らかにする方法.