光がある入射角をもってカバーガラスに入射するとき,その角度が一定以上に大きくなるとすべての光が反射する全反射が起こる.カバーガラスの全反射面ではその反対側でわずかに光がしみだしており,これをエバネッセント光という.エバネッセント光を蛍光の励起に利用するとカバーガラス近傍の数百nmの領域のみを励起することができ,背景光のない高い分解能の画像取得が可能となる.